纯度非常高的水（纯水）。在集成电路工业中，它用于清洁半导体原材料和器具，制备光刻掩模版和用于硅晶片氧化的水蒸气源。另外，超纯水也用于制造其他固态电子器件，厚膜和薄膜电路，印刷电路，真空管等。以下内容是脱气膜厂商详细介绍什么是超纯水。
超纯水：它几乎完全去除水中的导电介质，并将未在水中离解的胶体物质，气体和有机物质去除到极低水平。电阻率大于18MΩ* cm，或接近18.3MΩ* cm极限（25°C）。
在一般过程中难以实现超纯水。它采用四个步骤的预处理，反渗透技术，超净化处理和后处理，多级过滤，高性能离子交换单元，超滤过滤器，紫外灯，除了TOC设备和其他加工方法，电阻率可以达到18.25MΩ* cm（25°C）。
超纯水是由美国科学技术界通过蒸馏，去离子，反渗透或其他合适的超临界精细技术开发超纯材料（半导体原料，纳米精细陶瓷材料等）而生产的。在水分子（H2O）之外，几乎没有杂质，并且没有细菌，病毒，含氯二恶英等有机物质，当然，人体不需要矿物质的微量元素。一般来说，它们不能直接饮用，对身体有害，并且会吸出人体。中间有很多离子。
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